參考規范:
《電子工業潔凈廠房設計規范》GB50472
《潔凈室施工及驗收規范》GB-50591
《潔凈廠房設計規范》GB-50073
《通風與空調工程施工質量驗收規范》GB-50243
電子廠凈化車間等級要求高,風量、溫度、濕度、壓差、設備排風按需受控,照度、潔凈室截面風速按設計或規范受控,另外電子廠凈化車間對靜電要求極其嚴格,其中對濕度的要求尤甚。芯片生產車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子廠凈化車間的重要組成部分,由于電子產品在制造、生產過程中對室內空氣環境和品質的要求極為嚴格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時還對其環境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規定。